超精密气静压平面数控磨床“ZCS-QPM250超精密气静压三轴气浮数控平面磨床” ，采用气静压砂轮电主轴，X/Y二轴高精密气浮导轨。台达PLC、台达伺服电机和驱动器组成伺服驱动系统。使整机达到平面度0.5um（100mm×100mm），表面粗糙度Ra0.1um的加工精度。具体参数如下：
超精密气静压平面数控磨床ZCS-QPM250系列：
超精密气静压平面数控磨床**行程：250*500mm
超精密气静压平面数控磨床**磨削尺寸：260*580*380mm
伺服电机驱动X轴**行程：550mm
伺服电机驱动Y轴**行程：250mm
上下电动快升快降砂轮轴中心线至工作台面**距离：470mm
超精密气静压平面数控磨床该磨床采用气静压砂轮电主轴、X/Y二轴高精密气浮导轨，三级精密过滤器组成超精密气静压平面磨床的加工轴系。使整机达到平面度0.5um（100mm×100mm），表面粗糙度Ra0.1um的加工精度。
超精密气静压平面数控磨床工作台的左右、前后运动机构采用伺服电机驱动控制系统，具备缓冲换向功能。磨头上下进给采用精密滚珠丝杠加台达128万线精密伺服电机驱动系统升降，具有快进、慢进、微进给，自动、手动功能，操作方便、灵活可靠、无振动、精度稳定、热稳定性好、噪声低、维护保养方便等特点。
超精密气静压平面数控磨床X/Y二轴采用高精密气静压(气浮)导轨，具有高承载、高精度，高平稳性，无摩擦，**磨损等性能。
超精密气静压平面数控磨床气静压砂轮电主轴采用台达系列变频控制器实现无级调速。
超精密气静压平面数控磨床该磨床在气路、水路进口处加有压力传感器，具有过流、过载、气压低于下限、以及冷却水断流等故障报警保护功能。并且具有和上位机通讯功能（RS-485）。